De nieuwe Pura Plus is speciaal ontworpen voor de laatste veranderingen in de eisen van de waferindustrie op het gebied van afmetingen en indicatoren. Pura Plus is een online trace vochtigheidstransmitter die meerdere keren in een halfgeleiderfabriek wordt geïnstalleerd op het uiterste punt van de gastoevoer naar de productielijn voor het monitoren van toepassingen van ultrazuivere inerte gassen. De distributie van gassystemen in de fabriek is complex en omvat veel takken, knooppunten en gebruikspunten. Daarom kan het gebruik downstream worden beïnvloed door luchtinfiltratie als gevolg van kleine lekken, inefficiënt systeemontwerp, component-fouten of procesfouten na een conventioneel vochtigheidsmonitoringspunt. De Pura Plus, geïnstalleerd in het distributiesysteem, biedt een snelle reactie-instructie bij een vochtigheidsniveau van 20 ppb. De reactietijd van 1 ppb is minder dan 1 minuut. Hoogtepunten Snelle reactie op vochtigheidsveranderingen op ppb-niveaus Gevoeligheid voor lage vochtige ppb-niveaus (< 1 ppb) Nieuw concept voor meerdere meetinstallaties Lage onderhoudsvereisten Statusaanwijzing signaallamp Waarschuwings- en alarmpunten kunnen worden ingesteld Modbus netwerkcompatibiliteit Meerkanaalsoftware voor afstandsbedieningsinterfaces (UHP) Inspectie van pijpleidingen voor ultrazuiver gas
Technische indicatoren
Reactiesnelheid Reactietijd < 1 minuut 20 ppb luchtvochtigheidsveranderingen 1 ppb Vochtigheidsmeting 1 ppb tot 20.000 ppm Drukbereik 0 tot 10 bar Drukbestendigheid 300 bar Lekkertest 0-9 mbar l/s Werkstroombereik 1 tot 10 l/min Werktemperatuur 5 tot 40°C Opslagtemperatuur 30 tot 70°C Stroomvoorziening 20 ~ 28 V gelijkstroom Energieverbruik Maximaal 5 W Externe zekeringsklasse 500 mA snelsmeltvorm Gegevensuitgang Modbus ASCII tweedraadig RS485 Waarschuwingen en alarmen 2 weg Maximale spanning 40 V gelijkstroom Maximale stroom 100 mA Materiaal in contact met gas Gehuismateriaal Roestvrij staal AISI 316L, elektropolijst binnenoppervlak <10 Ra Sensorconstructie Aluminiumoxide elektrolyt, bovenste vergulde bescherming, onderste aluminiumlaag Binnenvolumes 4,4 cm³ gewicht 450g Interface luchtweg 1/4' m videorecorder Elektrische interface 9-pin D-type m-interface Elektromagnetische compatibiliteit EN50081-2 en EN50082-2