Merk: Gatan

Naam Model: Gatan SmartEMIC Elektronenstraal Inductie Stroom Metingsysteem

Fabrikant: GATAN

Distributeur: Opodong Co., Ltd.

Productomschrijving:

Productfuncties:

EBIC-analysesysteem, kan real-time software controleren volledig automatisch verzamelen van elektronenstraal gevoelige stroom (EBIC) signalen, verkrijgen van EBIC-beeldinformatie, kan ook verkrijgen IV-curve informatie, zui uiteindelijk kan testen PN knooppositie, breedte, minor diffusie lengte, materiaal of apparaat foutpunt locatie, wijd gebruikt in het gebied van elektronische halfgeleiders.

Kenmerken van het systeem:

Een hoogwaardig EBIC-systeem voor kwantitatieve EBIC-metingen. Interfacevriendelijke analysesoftware wordt uitgevoerd op het DigitalMicrograph-softwareplatform.

SmartEBIC-systemen voor SEM omvatten:

• Computergestuurde, op batterij aangedreven EBIC-versterker

• EBIC Sample Seat (ASH) met verstelbare wolframsonde voor desktopcontact. Samen met de juiste Gatan-adapter kan het monster ook via luchtslot worden geladen*

• Interface met SEM monstertafel

• Verbinding aansluiting en 4 BNC-type kabel aansluiting, laag geluidsniveau deze lucht feed, geschikt voor het meten van EBIC en elektronische stroom

• DigiScan II Digitaal Elektronenstraalsysteem met Fireware-technologie. Het bevat twee analoge ingangen die tegelijkertijd beelden van fotografische kwaliteit kunnen opnemen en flexibel de pixelintensiteit, de verblijfstijd per punt, de scanrotatie enz. kunnen regelen. Voor sommige SEM's kan het ook communiceren met de SEM's operationele parameters via software.

• Digitale Micrografie-software met geavanceerde SmartEBIC-applicatieplug-ins voor kwantitatieve metingen, realtime en nabewerkingsanalyses van lineaire contouren

Belangrijkste technische parameters van het product:

SmartEBIC zorgt voor automatische controle over het verzamelen en kwantitatieve analyseren van EBIC-signalen:

Scanbesturingssysteem:

1-, 1-, 2- of 4-bits gegevensverzameling biedt een enorm dynamisch bereik

Scanresolutie van 16 x 1 tot 8000 x 8000 pixels

Elektronenstraal verblijftijd, verstelbaar tussen 0,5 ms / pixel en 300 ms / pixel

De afbeeldingsgrootte wordt automatisch aangepast, waardoor het EBIC-experimentele proces gemakkelijker wordt

* 5, configureren Digi-Scan controller, real-time software controle volledig automatische verzameling, kan de kwantitatieve analyse van het signaal op het moment van de verzameling van het EBIC-signaal, zonder aanvullende nabewerking,

* 6, EBIC-afbeeldingsinformatie kan worden verkregen en IV-curveinformatie kan ook worden verkregen.

Geluidsbeheersing:

1. Speciaal ontworpen EBIC bijbehorende monsterplaats

2. Coaxial draaiende wijze

3. Herbruikbare loodzuurbatterij (15 uur levensduur)

4. Kan de versterker winst veranderen, het signaal-ruis verhouding en bandbreedte van de gegevensverzameling te optimaliseren

5. Twee optionele eerste orde RC-filters, laag of hoog doorgangsfilter

6. Laag drift vergroting modus

Buiten de tijd van communicatie met de pc schakelt de microprocessor van het systeem automatisch over naar de slaapstand

8. Rijke hulpmiddelen voor beeldverwerking. Inclusief scherpinggereedschappen, gladheidsgereedschappen en Fourier-transformatie-gereedschappen.

Kan worden aangepast met Lock-in technologie (dit systeem is niet beschikbaar, een dergelijk configuratiesysteem zal geen kwantitatieve analyse van het EBIC-signaal)

Opvolgen:

gerealiseerd via software. De opnameresolutie is +/-5V bij 12bit (1,22 mV).

Automatisering:

Het systeem optimaliseert automatisch de afbeeldingsgrootte, zelfs bij slechte versterkerparameters, voor een gemakkelijker beeldbladeren

Automatische instelling van de verschuiving/winst van de versterker

De software:

Meting van de lengte van de eendimensionale diffusie van het proces

Een breed scala aan analysetools voor gezichtssweep / lijnscan, inclusief wiskundige analysetools, filtertoepassingen enz.

Uitgebreide opties voor beeldweergave, inclusief overlapping van secundaire elektronische afbeeldingen met EBIC-afbeeldingen

Programmeertalen helpen u bij het schrijven van aangepaste software voor uw experimenten

Belangrijkste toepassingsgebieden:

Test PN knooppositie, breedte, smallest diffusie lengte metalen materiaal

Locatie van het foutpunt van materiaal of apparaat

Testen van de bitfoutdichtheid van halfgeleidermateriaal

IV Kenmerken Testen

Voorbeelden van toepassing:

Toepassing 1: Test PN knooppositie, breedte, minor diffusie lengte

Toepassing 2: Locatie van het foutpunt van het materiaal of het apparaat

Merk: Gatan

Naam Model: Gatan SmartEMIC Elektronenstraal Inductie Stroom Metingsysteem

Fabrikant: GATAN

Distributeur: Opodong Co., Ltd.