Belangrijkste kenmerken van het 12 inch Olympus wafer inspectiesysteem:

Robuust, betrouwbaar en veilig transport

Het 12-inch Olympus wafer inspectiesysteem is een voortzetting van de robuustheid, betrouwbaarheid en veiligheid van de vorige generatie en kan 300 mm wafers veilig en betrouwbaar vervoeren, evenals dunne wafers en Warped wafers.

● Ergonomisch ontwerp, gemakkelijk te bedienen

Het 12-inch Olympus wafer inspectiesysteem kan vrij worden ingesteld in de inspectiemodus, het ontwerp houdt rekening met de operabiliteit in de achtergrondtechniek, met speciale aandacht voor het gebruiksgemak van de apparatuur. De twee modellen zijn FOUP (Load Port) en FOSB.

De optimalisatie van de macro-observatiepositie van het 12-inch Olympus wafer inspectiesysteem en de gecentraliseerde regeling van de bedieningseenheden verbeteren de operationaliteit van de apparatuur.

Automatisch 300 mm wafer inspectiesysteem AL120-12 Technische specificaties